微表面加工方式

微結(jié)構表面可以用以下方式加工：金剛石精密車削、激光束加工、模壓加工、蝕刻技術、LIGA 技術、磨料噴射加工、微細電火花加工。近年來許多論文報道能夠用激光束加工微結(jié)構表面，但是其加工效率和制造精度低、加工范圍小；YAG 激光車削也許能在陶瓷上加工微槽陣列，但是這些槽的表面非常粗糙而且形狀還不規(guī)則；蝕刻技術加工微形陣列的均勻性尚未可控，微結(jié)構陣列只能大量、隨機地分布在微米級空間表面；LIGA 技術雖然能夠?qū)崿F(xiàn)微結(jié)構的精密加工，但其過于昂貴的加工成本使得一般單位無法利用該技術加工微結(jié)構。利用成形磨削的方法，用特定形狀的砂輪通過控制磨削過程可以加工出滿足要求的微結(jié)構表面。該方法最早是在 1989 年提出來的，這種微磨削加工微結(jié)構表面的方法不僅成本低，而且效率還非常高。1994 年，利用這種成形磨削方法成功加工出氣體潤滑的陶瓷制動盤。因而，在嚴格保證光學元件表面質(zhì)量的前提下對硬脆材料進行加工，微磨削技術體現(xiàn)出了其他加工方法難以比擬的優(yōu)勢，例如微磨削加工技術可加工的零件范圍很廣，如時鐘諧振器、發(fā)動機和軸承的陶瓷零件、鍺非球面光學鏡片和光纖光柵等元件。

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